
薄膜电路是通过真空蒸发、阴极溅射等薄膜工艺在玻璃/陶瓷基体上沉积导电材料制成的集成电路,其金属氧化物与绝缘介质薄膜可形成电阻器、电容器等无源元件。通常采用混合工艺,将薄膜制成的无源元件与集成电路、晶体管等有源器件芯片通过焊接方式组合成完整电路。该技术具有高精度(误差±0.01%)、高频性能优异等特点,2022年全球市场规模达225.41亿元,其中中国市场规模为40.99亿元 。
在军用领域占据主要应用场景,国内企业2022年军用市场占比3.64%。随着5G基站建设加速,薄膜阻容网络在射频模块中的市场规模已达8.55亿元(2022年) 。相较于厚膜电路,薄膜电路制造成本更高,但元件尺寸更小、集成度更高。薄膜电路因其膜层薄、功率承载能力较低,主要应用于精密、高频、低功率场景;高功率场景通常适配厚膜电路。
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