快速热处理 时间：2026-10-13 03:35:00 浏览：930次 在半导体工艺中，需要对晶圆做快速热处理（rapid thermal processing，RTP），即在几秒或更短的时间内把晶圆加热到1000 ℃左右。想要了解更多“快速热处理”的信息，请点击：快速热处理百科 标签：快速热处理,热处理,快速
