TDI(一种扫描成像技术)

TDI(一种扫描成像技术)

TDI,全称时间延迟积分(Time Delay Integration),是一种用于线阵图像传感器的扫描成像技术。其核心原理是通过传感器上多行像素对同一运动目标进行多次曝光,并将产生的电荷信号沿运动方向同步转移、逐级累加,从而提升图像的信噪比与灵敏度。随着技术发展,出现了数字域TDI技术,通过对连续多行像元在不同时刻的灰度值进行累加实现信噪比提升。 该技术主要应用于对高速运动物体或在低光照条件下要求高成像质量的场景,广泛应用于半导体晶圆检测、平板显示(FPD)检测、工业视觉、航天遥感及生物医学成像(如荧光显微、流式细胞术)等领域。TDI技术在物流分拣、安防监控、高速粒子追踪、材料表面形貌分析等场景也有应用潜力。 2025年4月,日本大阪大学研究团队将TDI技术应用于拉曼流式细胞仪,实现了无需荧光标记的高通量细胞化学成分检测。 TDI传感器可分为CCD和CMOS两种工艺类型,具备高速、高灵敏度、高动态范围等特点。CCD器件可用于实现TDI。随着CMOS工艺发展,基于CMOS的TDI图像传感器被提出并实现。 部分新型TDI传感器集成了抗溢出技术。 厂商推出了结合CCD感光性和CMOS高速输出特性的混合型TDI感光芯片。 2024年12月,一款背照式CMOS TDI图像传感器发布;2026年9月,一款深紫外ECCD-TDI工业相机发布。

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